精密事业

学习的热情。样机调试时，他们会讨论如何快速装配，团队成员间如何默契配合，如何更快地解决调试过程中不断涌出的各种技术与非技术现实问题等。在技术上，多渠道与整机方密切沟通，最终首次在整机单位现场实现了双工件台与整机机架的联合调试。在管理上，朱煜专门聘请专业咨询公司指导构建大项目管理体系与流程，派人到成熟企业学习管理经验，包括质量控制、生产管理、人力资源管理、供应链管理……一切都在为生产平台的搭建有条不紊地推进着。

2015年1月，团队承担的“45nm浸没式光刻机双工件台系统样机优化设计”通过了详细设计评审，并获得了较高评价：4月，华卓精科“65nmArF干式光刻机双工件台”通过整机详细设计评审。至此，双工件台产品已具备投产条件。目前，65nm光刻机双工件台已获得3台订单，合同金额超过1亿元。

华卓精科发展蒸蒸日上，可回想创业初景，还是难免唏嘘。尽管清华大学的产业孵化基金决定投入数百万元，可还是撑不起华卓精科的底盘。出于对超精密事业的无限热爱，朱煜和他的伙伴们——这群大学教师毅然放弃知识产权股份，凑出了几百万元现金，押上了他们的全部身家。

为什么？打开华卓精科的主页，“至精至卓，至善至诚”8个字跃入眼帘，这就是华卓精科的态度。从命名开始，朱煜和他的团队就把诚意放在了“成为中国乃至全球最卓越的精密科技公司”上，这是他们对超精密事业最执着的追求。而在02专项项目正式验收后，他们的目标又开始升级：在“十三五”期间，完成28nm及以下节点浸没式光刻机双工件台产品化开发并具备小批量供货能力，为国产浸没光刻机产品化奠定坚实基础。

“我首先是清华大学教授”

从一位国家战略专家到一流大学科研团队的负责人，再到高科技企业的首席科学家，朱煜的身份如层层包裹的洋葱，但在多重身份的认同中，他明确表示——“我首先是清华大学教授”。

朱煜并不是清华大学的“土著”。最初与清华结缘，还是在1999年。当时的他是另一所大学的副教授，以访问学者身份前来清华大学制造工程研究所工作。访期结束后，又继续留下开展博士后研究。由“客居”到“定居”，朱煜在清华园里逐渐扎根展叶，成为机械工程系名副其实的学术带头人。

朱煜带领的IC制造装备研究室是國家02重大专项项目“光刻机双工件台系统样机研发”依托研究基地之一。在带领团队完成重大科研任务的同时，他筹建了“清华大学IC制造装备精密机械与测控研究基地”，开辟了以IC制造装备为主导的全新学术方向。从2008年起，他又逐渐建立了一支由教师、研究生和社会招聘的专职科研人员组成的接近百人的研究团队。2012年，团队入选科技部首批重点领域创新团队：2013年，被清华大学列为综合体制改革仅有的两支校级团队试点之一。

为了学科的可持续发展，朱煜在清华大学建成了500平米净化实验室和200平米制造基地，并将三坐标机、激光校准仪等一系列高端精密设备引入其中，形成了优异的研究条件。团队中一些到MIT参观过的学生回来自豪地说：“MIT很多实验室的设施还赶不上我们哩！”。这一切，为将来进一步建设具有国际水平的超精密机械研发平台奠定了良好的基础。

虽然开创了超精密测控研究方向，搭建了一流的研究平台，但朱煜并未满足，他希望其所从事的超精密研究不仅应用于半导体行业，而要服务于更多重要的国民经济和基础研究领域。在他的主持下，超精密测控在多个相关前沿方向的研究不断拓展，向更为广阔的应用领域开枝散叶。

在研究生培养上，朱煜极为注重创新水平。他坚持认为，应该让学生在一个高水平的交叉学科研究平台上充分发挥创新能力，做出有价值的创新成果，从而达到培养创新性人才的目的。

“工程学科的研究生必须深入了解工程背景，从中提炼出工程问题，寻找创新研究方向。”朱煜对于研究生培养有着自己的思考，“但是，如果囿于现实工程背景而过度关注当下的工程问题，把精力过多地投入到直接解决问题上去，就会导致研究成果过分工程化，从而降低学术创新水平。”他解释道。尤其在博士生培养上，他的标准更加明确：“博士生应该从工程背景中提炼出未来的工程需求，进而在最难满足的工程需求中找到创新突破的方向，注重机理机制的揭示与问题解决方法的建立，使之更具有基础性和一般性，这是学术创新的核心。”

每一次的周例会和学术报告会，朱煜的点评都是他麾下研究生们的期待。有时某个同学被点评得少了，会后还会专门找他，希望能得到更多的建议。如此锤打锻造的学生，经得多、看得多，知识与经验积累厚实，广受用人单位青睐。迄今为止，朱煜先后培养博士、硕士数+名，大多进入国内外知名电子制造装备企业，成为技术中坚力量。

在朱煜心里，为学生培养和学科建设做再多的事情，都是他身为“清华大学教授”的本分。他不仅坚持为本科生、研究生授课，还应邀在全校研究生素质拓展课上讲述如何进行技术创新与学术创新，并积极参加到清华大学的招生宣讲工作中去，向中学生讲述学科前沿与专业发展，引导优秀学生做出正确的专业选择。

采访侧记：“陀螺人”朱煜

“我就是一个陀螺，一旦停下来就会倒下。不停，就可以一直高速旋转。”朱煜这么形容自己的状态。

自1999年单枪匹马到了清华大学，长达5年时间里，朱煜与妻儿分居南北，除了春节，他的周末和节假日几乎都是在实验室度过。早上8点，朱煜一定已在实验室，晚上11点系馆闭馆时才离开。午饭和晚饭在食堂解决，骑车来回，吃饭速度极快；如果在家吃完，他总是将几次的碗筷积攒到一起再洗，典型的单身汉生活。

就在工作出现起色的时候，非典降临北京，清华大学封校。期间，学生们无法进入实验区，为保证工作不停顿，朱煜独力支撑，就连跑海关和外汇局之类琐事也得亲力亲为。实在忙不过来的他，索性在实验室囤了方便面来打发三餐。身体透支之下，2004年起，他患上了严重的荨麻疹，长期服药，并经常性口腔溃疡。

有一段心灵鸡汤这样说：“健康是1，其它都是0，没有了健康，加再多0也没用。”对此，朱煜却另有看法。在他看来，人不应一味追求绝对的健康，努力做出更多对社会有益的创新创造才能让生命更有意义，而他选择的创新方向就是精密科技。对他来说，工作是最有效的健身。即使经历过身体透支，面对每年的体检结果，他对自己的身体状况依然表示满意。

乐观至此，朱煜不觉得有什么困难是不可克服的。经过数年磨砺，他们的双工件台产品经过内部考核，已经显示出质量的可靠性和稳定性。他们还会持续提升双工件台的性能，让产品不断成熟、升级。他相信天道酬勤，在他的信条里，“我要做的就是把自己的工作做好，别的都无需考虑”。这一点，他的目光格外令人信服。

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